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Controlador Mássico Termal

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SM-MFC

O SM-MFC Smartins é um Controlador de Vazão Mássica Termal (Mass Flow Controller) desenvolvido para medir e controlar com alta precisão a vazão mássica de gases em aplicações industriais, laboratoriais e de pesquisa. Com tecnologia de dispersão térmica, integra sensor de alta precisão, válvula proporcional e eletrônica microprocessada em um único equipamento, garantindo excelente estabilidade, rápida resposta e elevada repetibilidade. Temos opcional o SM-MFM (Mass Flow Meter), versão sem valvula de controle, permitindo apenas medição e leitura de fluxo de processo. Projetado para a Indústria 4.0, o SM-MFC realiza a medição direta da massa do gás, reduzindo a necessidade de compensações externas nas condições especificadas de operação e proporcionando maior eficiência, confiabilidade e economia de gases. Compatível com CLPs, IHMs e sistemas SCADA, é a solução ideal para processos que exigem controle preciso da vazão mássica.

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Especificações Técnicas
Modelo: SM-MFC Smartins
Princípio de Medição
Tecnologia de dispersão térmica (Thermal Mass Flow) com medição direta da vazão mássica de gases e controle em malha fechada (Closed Loop) através de válvula proporcional integrada e controlador PID digital.
Faixa de Medição
• Microvazões a partir de 0,5 SCCM ~ 3000 SLPM (conforme modelo).
• Faixas especiais sob consulta.
• Calibração específica para cada gás.
Desempenho Metrológico
Exatidão: ±0,8% da leitura ±0,2% F.E. (opcional ±0,5% da leitura)
Repetibilidade: ±0,2% F.E.
Linearidade: ±0,5% F.E.
Resolução: 0,1% F.E.
Tempo de resposta: ≤1 s
Turndown: 100:1
Gases Compatíveis
Ar comprimido, Nitrogênio (N₂), Oxigênio (O₂), Hidrogênio (H₂), Hélio (He), Argônio (Ar), Dióxido de Carbono (CO₂), Gás Natural, Metano, GLP, Biogás, Amônia e outros gases sob consulta.
Sensor
Sensor térmico MEMS de alta estabilidade, compensação digital automática, baixa deriva e elevada imunidade a ruídos.
Válvula de Controle
Válvula proporcional integrada com controle PID digital, resposta rápida, baixa histerese e função Soft Start.
Materiais de Construção
Corpo: AISI 316L
Sensor: AISI 316L
Válvula: AISI 316L
Diafragma: Aço inoxidável
Vedações: Viton®, EPDM, Kalrez® ou Metal/Metal (opcional UHP)
Conexões de Processo
1/8" ~ 3/4" OD, Swagelok®, compressão dupla anilha, NPT, BSP, VCR, VCO, Face Seal e conexões especiais sob consulta.
Pressão de Operação
Pressão de trabalho: Vácuo até 10 MPa (100 bar), conforme versão.
Pressão diferencial recomendada: 0,05 ~ 0,5 MPa.
Pressão máxima de ruptura: 15 MPa.
Temperatura
Temperatura do gás: -10 °C ~ 70 °C
Temperatura ambiente: 0 °C ~ 50 °C
Armazenamento: -20 °C ~ 70 °C
Alimentação
24 Vcc ±10%, Consumo máximo: <15 W
Display
LCD com indicação de vazão instantânea, setpoint, totalização, unidade, temperatura, pressão (quando disponível), alarmes e status operacional.
Entradas e Saídas
Entrada de Setpoint: 0–5 V, 0–10 V, 1–5 V, 4–20 mA ou comunicação digital.
Saída Analógica: 4–20 mA, 0–5 V, 0–10 V ou 1–5 V.
Saídas Digitais: Coletor aberto, pulso e alarmes.
Comunicação Industrial
RS-485 Modbus RTU, Modbus TCP, CANopen, DeviceNet, PROFIBUS-DP, PROFINET, EtherCAT e EtherNet/IP (conforme versão).
Grau de Proteção
IP54 (padrão)
IP65 (opcional)
Recursos Integrados
Controle PID digital, compensação térmica, Auto Zero, Soft Start, autodiagnóstico, alarmes configuráveis, monitoramento remoto, parametrização via software, registro de eventos, totalização e integração com sistemas Indústria 4.0.
Aplicações
Semicondutores, microeletrônica, CVD, PECVD, PVD, plasma, sputtering, implantação iônica, sistemas de vácuo, energia fotovoltaica, laboratórios, OEM, indústria química, petroquímica, farmacêutica, biotecnologia, cromatografia, equipamentos analíticos, mistura de gases, bancadas de calibração e centros de pesquisa.
Certificações
CE, RoHS, ISO 9001, Certificado de Calibração de Fábrica, rastreabilidade RBC/INMETRO (opcional) e SIL (opcional).
Principais Benefícios
• Medição e controle em um único equipamento.
• Alta precisão e excelente repetibilidade.
• Controle estável para microvazões.
• Baixa deriva ao longo do tempo.
• Resposta extremamente rápida.
• Integração completa com sistemas de automação.
• Redução do consumo de gases.
• Elevada confiabilidade para processos críticos.
• Fácil instalação e parametrização.

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